1月27日，省计量院承担的“十三五”国家重点研发计划“国家质量基础的共性技术研究与应用（NQI）”重点专项“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”子课题“纳米计量体系研究与标准器均匀性稳定性研究”顺利通过绩效评价。鉴于当前疫情防控工作需要，绩效评价采取了网络会议方式。验收专家组由来自全国产品几何技术规范标准化技术委员会、哈尔滨工业大学、西安工业大学、广东科学院半导体研究所等单位的5位专家组成。
会议由西安微电子技术研究所饶张飞研究员主持，省计量院课题组进行了汇报，专家组认真查阅了绩效评价材料，经过讨论和质询，专家组一致认为：提交的绩效评价材料齐全，组织管理规范，符合绩效评价要求；完成《纳米计量体系研究报告》1份、论文1篇、申请专利1项；完成了课题任务书规定的全部研究内容，达到了考核指标要求，同意该课题通过绩效评价。
“纳米计量体系研究与标准器均匀性稳定性研究”子课题深度剖析了由纳米几何量计量基准、计量标准、工作计量器具构成的量值溯源体系，为保证测量结果准确可靠、完善全国量值溯源系统及纳米相关产业转型升级提供了理论基础，详实阐述了纳米几何特征参量计量标准器的关键指标和作用，完成了纳米线宽、栅格计量标准器均匀性稳定性研究，满足了标准器研制的预期目标，对纳米计量标准器终端用户具有指导意义。